全自動(dòng)RCA清洗機(jī)

晶圓尺寸：

4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽體：

3酸/3水 or 4酸/4水 （可客制） 

化學(xué)循環(huán)/加熱控制/濃度控制/流量控制

酸/鹼/有機(jī)..排風(fēng)及排放分開排 

化學(xué)藥液：

CCSS or LCSS 供應(yīng) /自動(dòng)混酸系統(tǒng)

可選回收或排放

配置：

CO2滅火裝置/去靜電產(chǎn)生器/攝像頭

軟件控制：

PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS

可靠性:

Uptime≧95%    MTBF≧500 hours

MTTR≦3 hours  Breakage≦1/10000

標(biāo)準(zhǔn)工藝流程：（可客制）

Load →CC → 1# SPM → 2# HQDR →3# DHF → 4# QDR 5# SC-1 →6# QDR→7# SC-2 → 8# QDR → 9# Marangoni Dryer→ Unload

九槽RCA清洗機(jī)

用于各種硅晶圓的清洗

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