晶舟盒清洗機(jī)

設(shè)備概述

手動(dòng)清洗機(jī)臺(tái)，適用于零部件清洗

 1.1設(shè)備目的：使用DIW噴淋方式清洗CASSETTE及BOX

1.2產(chǎn)品尺寸及carrier type：6” CASSETTE及BOX 

1.3產(chǎn)能:  30min可清洗24組CASSETTE及 BOX

1.4清洗能力: 可清洗0.2um以上的particle去除率至少達(dá)95%

1.5操作流程：

設(shè)定Recipe人工將CASSETT及BOX放置于清洗架上按”Start” 清洗機(jī)即依設(shè)定之Recipe程序開始清洗程序制程結(jié)束(音樂鈴及燈號(hào)提示) 人工將人工將CASSETT及BOX取出