全自動去光阻清洗機(jī)

晶圓尺寸：

4~12寸 25pcs*1 or 2 cassette

槽體：

去光阻清洗槽/IPA清洗槽/DI純水槽（可客制） 

化學(xué)循環(huán)/加熱控制/濃度控制/流量控制

超聲功能/酸/鹼/有機(jī)..排風(fēng)及排放分開排 

化學(xué)藥液：

CCSS or LCSS 供應(yīng) /自動混酸系統(tǒng)

可選回收或排放

配置：

CO2滅火裝置/去靜電產(chǎn)生器/攝像頭

軟件控制：

PC+PLC+GUI控制,可支持SECS GEM/EAP/FDS

可靠性:

Uptime≧95%    MTBF≧500 hours

MTTR≦3 hours  Breakage≦1/10000

標(biāo)準(zhǔn)工藝流程：（可客制）

Load →1#去光阻1 → 2#去光阻2 →3# 去光阻3 → 4# IPA 5# QDR → 6# Dryer→ Unload